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「市場もっとも精密な装置」つくっているニコン
デジタル一眼レフカメラの市場が沸騰している。中でもニコンは「D80」で市場をリード。昨年12月にはさらに廉価な「D40」=写真上=を発売し、こちらも品薄になるほど好調だとか。
ニコンといえば老舗のカメラメーカーだが、ステッパーとかスキャナーと呼ばれる「半導体露光装置」はArF液浸スキャナーNSR―S609B=のNo.1企業であることは意外に知られていない。パソコンや携帯電話、i―Podに至るまで、近年のデジタル機器やシステムの急速な進歩の背景にはIC集積度の飛躍的な向上があるが、半導体露光装置は、ICの高集積化と小型化、低価格化を支えている。つまり、デジタル製品の頭脳となる半導体を作る装置をニコンが作っているというわけ。
ニコンは1980年に半導体露光装置を発表し、翌年に初出荷。以来、約7500台を出荷し、昨年までの世界累積出荷シェアは約45%に達している。
この装置には、「史上もっとも精密」という呼称が付いている。なぜか?
半導体は微細な線で回路が刻まれているが、技術の向上でその線幅がどんどん細くなっている。開発中のものは45ナノメートル。1ナノメートルは100万分の1ミリメートルだから、髪の毛1本の幅に、1800本もの線が刻まれる計算だ。ニコンの半導体露光装置は、半導体の基板となるシリコンウェハにそれだけ超微細な回路パターンを焼き付ける性能を持つことになる。それが「史上もっとも精密」と称される理由だ。
ユビキタスネットワーク社会の実現が声高に叫ばれているが、そのために欠かせないのがICのさらなる高性能化。ニコンへの期待は大きい。(2007.02.20紙面掲載)

